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原子層沉積系統PICOSUN?- R系列

價  格:詢價

產  地:芬蘭更新時間:2020-10-29 14:01

品  牌:Picosun型  號:PICOSUN?- R系列

狀  態:正常點擊量:2057

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科研領域:原子層沉積系統PICOSUN?- R系列高水平的研究和開發需要***好的設備。Picosun ALD是全球ALD設備的***。PICOSUN? R系列設備提供高質量ALD薄膜的沉積技術,并在各種各樣的襯底上都表現極佳的均勻性,包括***具挑戰性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。我們為液體、氣體和固體化學物提供的更高***的,易更換的前驅源系統,能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度***小的薄膜層。在***基本的PICOSUN? R系列配置中可以選擇多個獨立的,完全分離的源入口匹配多種類型的前驅源。PICOSUN? R系列獨特的擴展性使ALD工藝可以從研究環境直接過渡到生產環境的PICOSUN? P系列ALD系統。由于研發型與生產型PICOSUN?反應腔室核心設計特點都是相同的,這消除了實驗室與制造車間之間的鴻溝。對大學來說,突破創新的技術轉化到生產中,就會吸引到企業投資。



產品參數

PICOSUN?ALD  R-200 Advanced高級型 技術參數:(其他R系列技術參數請參考HONOPROF網站)

襯底尺寸和類型50-200 mm /單片
156 mm x 156 mm太陽能硅片
3D復雜表面襯底
粉末與顆粒
Roll-to-roll , 襯底最大寬 70 mm
多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品
工藝溫度50 - 500 °C , 可選更高溫度
基片傳送選件氣動升降(手動裝載)
預真空室安裝磁力操作機械手(Load lock )
半自動裝載,用PICOPLATFORM?200集群系統實現
25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM?200集群系統實現
前驅體液態、固態、氣態、臭氧源、等離子體(最多4路氣體)
6根獨立源管線,最多加載12個前驅體源(加上Plasma管路,共7根獨立源管線)
重量350 + 200 kg
尺寸(W*H*D)取決于選件
最小 146 cm x 146 cm x 84 cm
最大 189 cm x 206 cm x 111 cm
選件集群工具,PICOFLOW? 擴散增強器,集成橢偏儀,QCM,RGA,超高真空兼容,N2發生器,尾氣處理器,定制設計,手套箱集成(用于惰性氣體下裝載)
驗收標準標準設備驗收標準為 Al2O3工藝



產品介紹

科研領域:原子層沉積系統PICOSUN?- R系列高水平的研究和開發需要***好的設備。Picosun ALD是全球ALD設備的***。PICOSUN? R系列設備提供高質量ALD薄膜的沉積技術,并在各種各樣的襯底上都表現極佳的均勻性,包括***具挑戰性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。我們為液體、氣體和固體化學物提供的更高***的,易更換的前驅源系統,能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度***小的薄膜層。在***基本的PICOSUN? R系列配置中可以選擇多個獨立的,完全分離的源入口匹配多種類型的前驅源。PICOSUN? R系列獨特的擴展性使ALD工藝可以從研究環境直接過渡到生產環境的PICOSUN? P系列ALD系統。由于研發型與生產型PICOSUN?反應腔室核心設計特點都是相同的,這消除了實驗室與制造車間之間的鴻溝。對大學來說,突破創新的技術轉化到生產中,就會吸引到企業投資。





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