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 　　透射電子顯微鏡是的提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子***空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。透射電子顯微鏡原位電學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過(guò)探針對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操控和電學(xué)測(cè)量。并可在電學(xué)測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，極大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

　　本系統(tǒng)包括包括兩部分，分別是掃描探針控制器（內(nèi)含電流前置放大器）與原位測(cè)量樣品桿部分。

透射電子顯微鏡指標(biāo)

• 保證透射電鏡原有的分辨率（非球差校正）；

掃描探針操縱指標(biāo)

• 粗調(diào)范圍：XY方向3.0mm，Z方向1.5mm。

• 細(xì)調(diào)范圍：XY方向20um，Z方向2.0um。

• 細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。

電學(xué)測(cè)量指標(biāo)

• 包含***個(gè)電流電壓測(cè)試單元。

• 電流測(cè)量范圍：0-20mA，5個(gè)量程。*小電流分辨率：30fA。

• 電壓輸出范圍：普通模式±10V，高壓模式±150V。

• 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。

注：以上指標(biāo)可能根據(jù)系統(tǒng)配置不同而略有變化