經(jīng)中***科學(xué)院電工研究所電子束曝光技術(shù)研究組幾十年不斷努力和探索，特別是攻克了“圖形發(fā)生器”和“定位工件臺”等關(guān)鍵技術(shù)后，為各位從事微、納米技術(shù)研究的專***提供了既具有微、納米圖形分辨率，系統(tǒng)簡單又價(jià)格低廉的電子束曝光系統(tǒng)。 電子束曝光系統(tǒng)=（DY-2000A）納米通用圖形發(fā)生器+SEM
基于DY-2000A納米通用圖形發(fā)生器:
其基本結(jié)構(gòu)如下：
1、（DY-2000A）圖形發(fā)生器+ SEM（掃描電鏡）
| | 機(jī)型*** DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM | 特點(diǎn)： 1、DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM組建成電子束曝光系統(tǒng)使用原SEM工作臺。 2、無須改動(dòng)電子顯微鏡，保留顯微鏡的全部功能，單場制作各種微納結(jié)構(gòu)圖形和套刻工作 |
| | 機(jī)型二 DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM+光柵工件臺 | 特點(diǎn)： 1、(DY-2000A圖形發(fā)生器+SEM組建成電子束曝光系統(tǒng))使用精密光柵工件臺 2、無須改動(dòng)電子顯微鏡，保留顯微鏡的全部功能，多場制作各種微納結(jié)構(gòu)圖形拼接和套刻工作 |
．DY-2000A納米通用圖形發(fā)生器的硬件特點(diǎn)：
1. 高精度標(biāo)記圖形數(shù)據(jù)采集器
2. 、快速的SCSI接口
3. 掃描頻率大于10 MHZ，傳輸數(shù)率不低于300MB/S。 高速數(shù)字信號處理器（DSP）
4. 用于X和Y方向電子束偏轉(zhuǎn)的兩套16位高速數(shù)模轉(zhuǎn)換和控制系統(tǒng)
5. 12 位高性能，小溫漂的ADC圖形采集系統(tǒng)，信噪比高。
6. 采用高性能的微處理器，信號處理能力優(yōu)于30M,支撐高效，高分辨的曝光結(jié)果。
7. 采用恒溫抗干擾機(jī)箱，減少干擾，穩(wěn)定性大大優(yōu)于集成設(shè)備。
8. 配有5.6寸LED顯示屏，可實(shí)時(shí)、直觀的顯示曝光進(jìn)程。
9. 帶有匹配的束閘輸入接口。
10. 配有適配器，使電鏡，能譜，曝光互聯(lián)和轉(zhuǎn)接互不干擾。
11. 配有22寸液晶顯示器和PC圖形控制系統(tǒng)***套。束閘控制：點(diǎn)控、線控、區(qū)域控制等
五．DY-2000A納米通用圖形發(fā)生器的軟件功能:
1. 基于Windows中文操作系統(tǒng)的EBL應(yīng)用軟件，具有強(qiáng)大的圖形編輯，界面簡潔，容易操作，兼具讀寫及轉(zhuǎn)換及圖形導(dǎo)入等功能。
2. 具有遠(yuǎn)程控制SEM/FIB/STEM的功能。
3. 可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)格式為DXF、CIF、ASCII等圖形的讀入和轉(zhuǎn)換。
4. 具有圖像縮放和重疊功能，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)快速圖像采集，同步等等。
5. 可實(shí)現(xiàn)位移，旋轉(zhuǎn)，增益矯正刻寫場，提升曝光結(jié)果的分辨率。
6. 具有標(biāo)記檢測和位置修正，用于拼接和套刻對準(zhǔn)。
7. 具有曝光、工件臺移動(dòng)和束閘通斷等功能控制。
8. 具有點(diǎn)控、線控、區(qū)域及非特征圖形的控制。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
