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激光掃描輪廓儀

n產(chǎn)品介紹

μscan系列機(jī)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測(cè)量，粗糙度測(cè)量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測(cè)量較大面積的樣品，而不用通過(guò)拼接。

μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測(cè)量)連用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。

CF4激光共聚焦傳感器內(nèi)，被照亮的小孔成像在被測(cè)量的表面，激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上，只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對(duì)的時(shí)候，探測(cè)器才記錄到***個(gè)表面信號(hào)。因此物鏡得通過(guò)小的垂直步位移動(dòng)，使信號(hào)通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)被測(cè)出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù)，該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。

n應(yīng)用

ü集成電路封裝和表面貼裝：快速獲得封裝翹曲變形、引線(xiàn)共面性、粗糙度、焊料的體積、引線(xiàn)輪廓。

ü厚膜混合電路:膜厚度的自動(dòng)化測(cè)量

ü精密部件：測(cè)量精密五金配件、塑料、半導(dǎo)體材料的輪廓、粗糙度等

n技術(shù)參數(shù)

1.測(cè)量原理：非接觸，激光共聚焦

2.掃描模塊：

2.1XY方向測(cè)量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可選）,馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

2.2XY方向平臺(tái)分辨率0.5um

2.3Z方向位移范圍100mm

2.4***大測(cè)量速度50mm/S.

3.傳感器模塊

3.1共聚焦傳感器，激光光源1.5μm spot size，1 kHz data rate

3.2Z方向分辨率0,02um

3.3XY方向分辨率1um，可連續(xù)***次掃描成像，***大范圍達(dá)到200mmX200mm

3.4工作距離4mm

3.5Z方向測(cè)量范圍1mm

4系統(tǒng)配置

4.1計(jì)算機(jī)：高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)；

4.2配有專(zhuān)業(yè)工作臺(tái)，尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)

4.3可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X)，***大視野8 x 6 mm2

4.4功能全面的軟件

4.5數(shù)據(jù)分析：輪廓測(cè)量、寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析